XRR-mittaus ohutkalvoille

Röntgenheijastuvuuden mittaus eli XRR-analyysi ohutkalvonäytteille. Tuloksena saadaan arvot kalvon tiheydelle (g / cm³), paksuudelle (nm) sekä karheudelle (nm). Jos kalvon paksuus halutaan määrittää, tulee paksuuden olla < 100 nm ja vähintään yhden suuruusluokan suurempi kuin karheuden. Karheusmääritykseen yhteydessä kalvon paksuuden täytyy yleensä olla < 250 nm. Tiheyden määritys sen sijaan voidaan usein tehdä paksummastakin näytteesta. Mittaukseen soveltuva näyttepaksuus riippuu kuitenkin myös näytetyypistä. Jos tarvitset lisätietoja mittauksen sopivuudesta näytteellesi, ota yhteyttä asiakaspalveluumme.

PuolijohteetPintatestaus

Soveltuvat näytematriisit

Ohutkalvonäytteet, ALD-näytteet

Näytteiden minimimäärä

Optimaalinen koko 5 x 4 cm, miniminäytekoko 2 x 2 cm

Tyypillinen läpimenoaika

3 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta

Laatujärjestelmä

Measurlabsin validoima menetelmä

Mittauslaitteet

XRD

Menetelmän asiantuntija

Kia Bertula