XRR-mittaus ohutkalvoille

Röntgenheijastuvuuden mittaus eli XRR-analyysi ohutkalvonäytteille. Tuloksena saadaan arvot kalvon tiheydelle (g/cm³), paksuudelle (nm) sekä karheudelle (nm). Jos kalvon paksuus halutaan määrittää, tulee paksuuden olla < 100 nm ja vähintään yhden suuruusluokan suurempi kuin karheuden. Karheusmäärityksen yhteydessä kalvon paksuuden täytyy yleensä olla < 250 nm. Tiheyden määritys sen sijaan voidaan usein tehdä paksummastakin näytteesta. Mittaukseen soveltuva näytepaksuus riippuu kuitenkin myös näytetyypistä. Jos tarvitset lisätietoja mittauksen sopivuudesta näytteellesi, ota yhteyttä asiakaspalveluumme.

Soveltuvat näytematriisit

Ohutkalvonäytteet, ALD-näytteet, pinnoitteet, kalvot

Näytteiden minimimäärä

Optimaalinen koko 5 x 4 cm, miniminäytekoko 2 x 2 cm

Tyypillinen läpimenoaika

3 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta

Laatujärjestelmä

Measurlabsin validoima menetelmä

Mittauslaitteet

XRDXRR

Menetelmän asiantuntija

Kia Bertula

kia.bertula@measurlabs.com+358 40 827 5851

PuolijohteetPintatestaus