XRR-mittaus ohutkalvoille
Röntgenheijastuvuuden mittaus eli XRR-analyysi ohutkalvonäytteille. Tuloksena saadaan arvot kalvon tiheydelle (g/cm3), paksuudelle (nm) sekä karheudelle (nm).
Jos kalvon paksuus halutaan määrittää, tulee paksuuden olla < 100 nm ja vähintään yhden suuruusluokan suurempi kuin karheuden. Karheusmäärityksen yhteydessä kalvon paksuuden täytyy yleensä olla < 250 nm. Tiheyden määritys sen sijaan voidaan usein tehdä paksummastakin näytteesta.
Mittaukseen soveltuva näytepaksuus riippuu kuitenkin myös näytetyypistä. Jos tarvitset lisätietoja mittauksen sopivuudesta näytteellesi, ota yhteyttä asiakaspalveluumme.
Lisätietoja menetelmäperheestä:
Röntgendiffraktio (XRD)- Soveltuvat näytematriisit
- Ohutkalvonäytteet, ALD-näytteet, pinnoitteet, kalvot
- Näytteiden minimimäärä
- Optimaalinen koko 5 x 4 cm, miniminäytekoko 2 x 2 cm
- Tyypillinen läpimenoaika
- 2 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta
- Laatujärjestelmä
- Measurlabsin validoima menetelmä
- Mittauslaitteet
- Menetelmän asiantuntija
![Hande Güneş]()
Hande Güneş
Puolijohteet
PintatestausPaljon näytteitä tai muita erikoisvaatimuksia?
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita +358 50 336 6128.