TXRF-mittaus

Kokonaisheijastukseen perustuva röntgenfluoresenssimittaus (TXRF) alkuaineiden jälkikontaminaation määrittämiseksi kiekkojen pinnoilta.

Mittaus sisältää 49–300 yksittäistä pistettä ja näiden perusteella laaditut visuaaliset alkuainekohtaiset kartat sekä numeeriset pitoisuukset.

Lähes kaikki alkuaineet natriumin (Na) ja uraanin (U) väliltä voidaan sisällyttää analyysiin. Tyypillisimmin mukana on osa tai kaikki seuraavista alkuaineista: Al, Mg, Na, Ag, Ar, Ba, Ca, Cd, Ce, Cl, Co, Cr, Cs, Cu, Dy, Er, Eu, Fe, Gd, Hf, Ho, I, In, K, La, Lu, Mn, Nd, Ni, P, Pd, Pm, Pr, Rh, S, Sb, Sc, Sm, Sn, Tb, Te, Ti, Tm, V, Xe, Yb, Zn, Ac, As, At, Au, Bi, Br, Fr, Ga, Ge, Hg, Ir, Kr, Mo, Nb, Os, Pa, Pb, Po, Pt, Ra, Rb, Re, Rn, Ru, Se, Sr, Ta, Tc, Th, Tl, U, W, Y, Zr.

Kaikki tyypilliset pinnoitetut ja pinnoittamattomat kiekot (esim. Si, SiC, GaAs, GaN, InP jne.) ja koot aina 300 mm (12 tuumaa) asti soveltuvat mittaukseen.

Alkuainekohtainen detektrioraja vaihtelee välillä 109–1012 at/cm2. Siirtymämetalleilla detektiorajat ovat matalampia kuin alkalimetalleilla ja maa-alkalimetalleilla.

Paikallinen tarkkuus on 5–15 mm kiekon koosta ja mitattavien pisteiden määrästä riippuen.

Ota yhteyttä sopiaksesi tarkemmista yksityiskohdista ja hinnoittelusta.

Soveltuvat näytematriisit
Kaikki tyypilliset paljaat tai pinnoitetut waferit 300 mm halkaisijaan saakka.
Näytteiden minimimäärä
Kokonainen waferi
Tyypillinen läpimenoaika
1 – 3 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta
Määritysraja
10E9 - 10E12 A/CM2
Saatavilla olevat laatujärjestelmät
Measurlabsin validoima menetelmä
Mittauslaitteet

Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.

Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.

Ringing phone
...ja yli 700 muuta tyytyväistä asiakasta

Ota yhteyttä

Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.

Voimme laatia tarjouksen nopeammin, kun sisällytät viestiin seuraavat tiedot:

  • Näytteiden lukumäärä ja näytemateriaalin tarkka kuvaus
  • Testaustarpeen toistuvuus: kuinka usein tarvitsette vastaavia testejä?

Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia tai soita myyjillemme.