ToF-ERDA-mittaus
Ohutkalvonäytteiden Tof-ERDA mittauksen tuloksena saadaan seuraavat tiedot: - Alkuaineiden konsentraatiot (atomi-%) - Kokonaismäärä pintatiheyden yksikössä (1E15 at/cm2) - Syvyysprofiili (konsentraatio syvyyden funktiona) Mittauksella voidaan havaita kaikki alkuaineet ja vedyn eri isotoopit.
Lisätietoja menetelmäperheestä:
ToF-ERDA-analyysi (ERDA)
Puolijohteet
Pintatestaus- Soveltuvat näytematriisit
- Ohutkalvonäytteet, ALD-kalvot
- Näytteiden minimimäärä
- Näytteen koko: 10 x 10 mm – 15 x 15 mm
- Laatujärjestelmä
- Measurlabsin validoima menetelmä
- Mittauslaitteet
- Menetelmän asiantuntija
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Tilauksesta tuloksiin neljässä vaiheessa
1
Valitse tarvittavat testit
2
Vastaanota tilausvahvistus
3
Lähetä näytteesi meille
4
Saat tulokset sähköpostiisi