ToF-ERDA-analyysi
Lentoaika-rekyylispektrometria (ToF-ERDA) on analyysimenetelmä, jota käytetään sileiden pintojen alkuainekoostumuksen selvittämiseen. ToF-ERDA-mittauksilla saadaan selville eri alkuaineiden pitoisuudet näytteen pinnalla ja pitoisuuksien vaihtelut syvyyden funktiona. Menetelmän avulla on mahdollista havaita kaikki alkuaineet, mukaan lukien vedyn eri isotoopit.
Yksinkertainen ja läpinäkyvä hinnoittelu
Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa (24 %).
- Nopeat tulokset
- Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
- Kilpailukykyiset hinnat
- Takuu tulosten oikeellisuudesta
Mihin ToF-ERDA-menetelmää käytetään?
ToF-ERDA on analyysitekniikka, jota käytetään ohutkalvomateriaalien alkuainekoostumusten selvittämiseen ja syvyysprofilointiin. ToF-ERDA:n avulla pystytään selvittämään ohutkalvojen alkuainekoostumukset ja havaitsemaan kalvon epäpuhtaudet eri syvyyksissä. Tekniikan vahvuutena on kyky havainnoida lähes kaikkia alkuaineita, mukaan lukien vetyä.
Tyypillinen alkuainekohtainen havainnointiraja on noin 0,1–0,5 atomiprosenttia. Tavallisesti ToF-ERDA-mittauksissa saavutetaan 5–20 nm:n syvyysresoluutio. ToF-ERDA:lla saadut tulokset ovat kvantitatiivisia.
Miten menetelmä toimii?
ToF-ERDA käyttää raskasta ionisuihkua (kuten Cl, I, Au), jonka energia on jopa 100 MeV. Energinen ionisuihku suunnataan näytteeseen määrätyssä kulmassa. Suihku ionisoi näyteen atomit, minkä jälkeen syntyneet ionit kimpoavat eteenpäin. Kimmonneet ionit havaitaan lentoaikadetektorilla.
ToF-ERDA:ssa mitataan rekyyli-ionin energia ja lentoaika samanaikaisesti. Rekyyli-ionit havaitaan tyypillisesti kahdella lentoaikamittarilla ja energiamittarilla. Lentoaika mitataan kahden lentoaikamittarin välisen etäisyyden perusteella ja ionien massat erotetaan energiamittarilla. Aika/energia-spektrien konversiota käytetään syvyysprofiilien luomiseen, kun energiahäviön ja näytteen ionien yhteys tunnetaan.
Tilaa analyysit Measurlabsilta
Measurlabs tarjoaa laadukkaat ToF-ERDA-mittaukset sekä laajan valikoiman muita analyysimenetelmiä ohutkalvojen ja puolijohdemateriaalien analysointiin. Saatavilla on muun muassa GD-OES-, XPS-, RBS-, ja SIMS-mitauksia. Voit tehdä tarjouspyynnön sivun alalaidasta löytyvällä lomakkeella. Vastaamme kyselyihin aina yhden arkipäivän kuluessa.
Soveltuvat näytematriisit
- Epäorgaaniset näytteet, joilla on tasainen pinta.
- Puolijohdemateriaalit
- Elektroniikka
- Ohutkalvot
- Piikiekot
ToF-ERDA:n tyypillisiä käyttökohteita
- Ohutkalvojen alkuaineanalyysi ja syvyysprofilointi
- Erityisesti kevyiden alkuaineiden (H, B, C, N ja O) mittaus ohutkalvoista
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita +358 50 336 6128.
Usein kysytyt kysymykset
ToF-ERDA:a käytetään ohutkalvojen alkuainekonsentraatioiden mittaamiseen.
Tekniikka tuottaa alkuaineiden syvyysprofiileita, joiden syvyysresoluutio on 5–20 nm.
Luotettavien tulosten saamiseksi näytteen pinnan on oltava tasainen ja karheuden alle 10 nm.
Korkeaenerginen ionisuihku vaurioittaa orgaanisia ohutkalvoja nopeasti, minkä vuoksi niistä saatavat mittaustulokset eivät ole täysin luotettavia.
Syvyysresoluutio on 5 nm–20 nm.
Havaitsemisraja on tyypillisesti 0.1–0.5 atomiprosenttia. Pienempien pitoisuuksien tutkimiseen on valittava toinen menetelmä, kuten SIMS.
ToF-ERDA soveltuu hyvin epäorgaanisille materiaaleille, joilla on tasainen pinta.
Tyypillisimpiä näytteitä ovat ALD-kalvot ja muut ohutkalvomateriaalit.
Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.
Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.
Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.