Lentoaika-rekyylispektrometria

Lentoaika-rekyylispektrometria (ToF-ERDA, time of flight - elastic recoil detection analysis) on materiaalianalyysimenetelmä, jota käytetään sileiden pintojen alkuainekoostumuksien selvittämiseen. ToF-ERDA mittausten avulla saadaan selville eri alkuaineiden pitoisuudet pinnalla ja pitoisuuksien vaihtelut syvyyden funktiona. ToF-ERDAn avulla on mahdollista havaita kaikki alkuaineet, vetyisotoopit mukaan lukien.

  • Nopeat tulokset
  • Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
  • Kilpailukykyiset hinnat
  • Takuu tulosten oikeellisuudesta

Lentoaika-rekyylispektrometria (ToF-ERDA tai ERD tai ERS tai FRS) on ianalyysitekniikka jota käytetään ohutkalvomateriaalien alkuainekoostumusten selvittämiseen ja syvyysprofilointiin. ToF-ERDA:n avulla pystytään selvittämään ohutkalvojen alkuainekoostumukset ja havaitsemaan kalvon epäpuhtaudet eri syvyyksissä. Tekniikan vahvuutena on kyky havainnoida lähes kaikkia alkuaineita, mukaan lukien vetyä.Tyypillinen alkuainekohtainen havainnointiraja on noin0.1–0.5 atomiprosenttia pitoisuudet.. Tavallisesti ToF-ERDA mittauksissa saavutetaan 5–20 nm:n syvyysresoluutio. ToF-ERDA on lähtökohtaisesti näytettä vahingoittamaton menetelmä, ja tulokset ovat kvantitatiivisia.

ToF-ERDA käyttää raskasta ionisuihkua (kuten Cl, I, Au), jonka energiat ovat jopa 100 MeV. Energinen ionisuihku on suunnattu näytteeseen tunnetussa kulmassa. Suihku ionisoi näyteen atomit, minkä jälkeen syntyneetionit kimpoavat eteenpäin. Kimmonneet ionit havaitaan lentoaikadetektorilla.

ToF-ERDAssa mitataan rekyyli-ionin energia ja lentoaika samanaikaisesti. Rekyyli-ionit havaitaan tyypillisesti kahdella lentoaikamittarilla ja energiamittarilla. Lentoaika mitataan kahden lentoaikamittarin välisen etäisyyden perusteella ja ionien massat erotetaan energiamittarilla. Aika/energia spektrien konversiota käytetään syvyysprofiilien luomiseen, kun energiahäviön ja näytteen ionien yhteys tunnetaan.

Soveltuvat näytematriisit

  • Epäorgaaniset näytteet, joilla on tasainen pinta.
  • Puolijohdemateriaalit
  • Elektroniikka
  • Ohutkalvot

ToF-ERDAn tyypillisiä käyttökohteita

  • ToF-ERDAa käytetään ohutkalvojen alkuaineanalyysiin ja syvyysprofilointiin.
  • Sitä käytetään erityisesti ohutkalvojen sisältämien kevyiden alkuaineiden, kuten H, B, C, N ja O syvyysprofilointiin.

Yksinkertainen ja läpinäkyvä hinnoittelu

Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa (24 %).

Ota yhteyttä

Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.

Palvelemme toistaiseksi vain yrityksiä ja yhteisöjä.

Voit myös lähettää sähköpostia info@measurlabs.com tai soittaa meille numeroon +358 40 735 4843.

Vastaamme aina yhdessä arkipäivässä.

Usein kysytyt kysymykset

Mihin ToF-ERDAa yleensä käytetään?

ToF-ERDAa käytetään ohutkalvojen alkuainekonsentraatioiden mittaamiseen.

Tekniikka tuottaa alkuainesyvyysprofiileita, joiden syvyysresoluutio on 5–20 nm.

Mitkä ovat ToF-ERDAn rajoitteet?

Luotettavien tulosten saamiseksi näytteen pinnan on oltava tasainen ja karheuden tulisi olla alle 10 nm.

Korkeaenerginen ionisuihku vaurioittaa orgaanisia ohutkalvoja nopeasti, minkä vuoksi niistä saatavat mittaustulokset eivät ole täysin luotettavia.

Syvyysresoluutio on 5 nm–20 nm.

Havaitsemisraja on tyypillisesti 0.1–0.5 atomiprosenttia. Pienempien pitoisuuksien tutkimiseen on valittava toinen menetelmä, esim SIMS.

Millaisia näytteitä ToF-ERDAlla voi analysoida?

ToF-ERDA soveltuu hyvin epäorgaanisille materiaaleille, joilla on tasainen pinta.

Näytteet ovat tyypillisesti ohutkalvomateriaaleja.

Mikä Measurlabs on?

Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.

Miten palvelu toimii?

Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.

Kuinka lähetän näytteeni?

Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.

ToF-ERDA analyysit ohutkalvomateriaalien alkuaineiden mittaamiseen erittäin tarkasti eri syvyyksillä näytteen pintakerroksissa. Measur tarjoaa luotettavia ToF-ERDA-palveluita akkreditoiduissa laboratorioissa.