RBS-analyysi

Rutherfordin takaisinsirontaspektrometria (RBS) on analyysimenetelmä ohutkalvojen ja pinnoitteiden alkuainekoostumuksen määrittämiseksi. Sen avulla voidaan maaritellä syvyysprofiileja näytteen pinnasta. RBS havaitsee takaisin sironneiden ionien energiat ja määrät.

  • Nopeat tulokset
  • Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
  • Kilpailukykyiset hinnat
  • Takuu tulosten oikeellisuudesta

Miten RBS-analyysi toimii?

Rutherfordin takaisinsironnan spektrometria (RBS) on analyysitekniikka ohutkalvojen karakterisointiin ja muiden kiinteiden pintojen tutkimiseen. RBS-tekniikka antaa kvantitatiivista tietoa näytteiden pinnassa olevien eri alkuaineiden määrästä. Menetelmä soveltuu yleensä < 1µm ohutkalvojen tai pinnoitteiden syvyysprofiilien määrittämiseen. Yhdellä mittauksella voidaan saada myös usean eri alkuaineen syvyysprofiilit samaan aikaan. RBS-analyysilla voidaan määrittää raskaita alkuaineita kevyen substraatin päällä, mutta jos analysoitavan pinnan alkuaineet ovat substraattia kevyempiä, on analysoiminen haastavaa. Toisin kuin monet muut ohutkalvojen analysointimenetelmät (XPS syvyysprofilointi, poikkileikkeen SEM-EDX), RBS ei vahingoita tai tuhoa näytettä.

RBS-analyysin aikana näytteen pinnalle ohjataan suurienergisia He2+-ioneja, jotka törmäävät näytteen atomeihin ja siroavat elastisesti detektorille. Näytteen alkuaineet tunnistetaan sironneiden ionien energiasta sekä ionien määrästä. Sironneen ionin energia riippuu näytteen atomin massasta sekä syvyydestä jossa He2+ törmää näytteen atomeihin.

Soveltuvat näytematriisit

  • Ohutkalvot
  • Puolijohdemateriaalit
  • Optiset pinnoitteet

RBS-analyysin tyypillisiä käyttökohteita

  • Ohutkalvojen alkuainekoostumuksen määrittäminen.
  • Ohutkalvojen ja pinnoitteiden paksuuden määrittäminen.
  • Pintakerroksien syvyysprofiilin määrittäminen.

Ota yhteyttä

Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.

Vastaamme aina yhdessä arkipäivässä.

Voit myös lähettää sähköpostia info@measurlabs.com tai soittaa meille +358 50 336 6128.

Usein kysytyt kysymykset

Mihin RBS-menetelmää yleensä käytetään?

RBS-analyysia hyödynnetään kiinteiden ohutkalvojen ja pintojen alkuainekoostumuksen analysointiin sekä pinnan syvyysprofiilin selvittämiseen.

Mitkä ovat RBS-analyysin rajoitteet?

Substraattimateriaalia kevyemmät alkuaineet eivät ole pinnasta tunnistettavissa RBS:llä.

Millaisia näytteitä RBS-menetelmällä voi analysoida?

Kiinteät pinnat, kuten ohutkalvot, puolijohdemateriaalit ja pinnoitteet ovat yleisiä RBS-analyysin näytemateriaaleja.

Mikä Measurlabs on?

Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.

Miten palvelu toimii?

Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.

Kuinka lähetän näytteeni?

Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.