Rutherfordin takaisinsirontaspektrometria

Rutherfordin takaisinsirontaspektrometria (RBS) on analyysimenetelmä ohutkalvojen ja pinnoitteiden alkuainekoostumuksen määrittämiseksi. Sen avulla voidaan syvyysprofiileja näytteen pinnasta. RBS havaitsee takaisin sironneiden ionien energiat ja määrät.

  • Nopeat tulokset
  • Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
  • Kilpailukykyiset hinnat
  • Takuu tulosten oikeellisuudesta

Rutherfordin takaisinsirontaspektrometria (RBS) on analyysitekniikka ohutkalvojen karakterisointiin ja muiden kiinteiden pintojen tutkimiseen. Tekniikka antaa kvantitatiivista tietoa näytteiden pinnassa olevien eri alkuaineiden määrästä. RBS:llä soveltuu yleensä < 1µm ohutkalvojen tai pinnoitteiden syvyysprofiilien määrittämiseen. Yhdellä mittauksella voidaan saada myös usean eri alkuaineen syvyysprofiilit samaan aikaan. RBS:llä voidaan määrittää raskaita alkuaineita kevyen substraatin päällä, mutta jos analysoitavan pinnan alkuaineet ovat substraattia kevyempiä niin analysoiminen on haastavaa. Toisin kuin monet muut ohutkalvojen analysointimenetelmät (XPS syvyysprofilointi, poikkileikkeen SEM-EDX), RBS ei vahingoita tai tuhoa näytettä.

RBS:ssä ohjataan näytteen pinnalle suurienergisia He2+ ioneja, jotka törmäävät näytteen atomeihin ja siroavat elastisesti detektorille. Näytteen alkuaineet tunnistetaan sironneiden ionien energiasta sekä ionien määrästä. Sironneen ionin energia riippuu näytteen atomin massasta sekä syvyydestä jossa He2+ törmää näytteen atomeihin.

Soveltuvat näytematriisit

  • Ohutkalvot
  • Puolijohdemateriaalit
  • Optiset pinnoitteet

RBS:n tyypillisiä käyttökohteita

  • Ohutkalvojen alkuainekoostumuksen määrittäminen.
  • Ohutkalvojen ja pinnoitteiden paksuuden määrittäminen.
  • Pintakerroksien syvyysprofiilin määrittäminen.
Tarjouspyyntö

Ota yhteyttä

Voit myös lähettää sähköpostia info@measurlabs.com tai soittaa meille numeroon +358 40 735 4843.

Vastaamme aina vuorokauden sisällä.
UKK

Usein kysytyt kysymykset

Mihin RBS:ää yleensä käytetään?

Kiinteiden ohutkalvojen ja pintojen alkuainekoostumuksen analysointiin.

Pinnan syvyysprofiilin selvittämiseen.

Mitkä ovat RBS:n rajoitteet?

Substraattimateriaalia kevyemmät alkuaineet eivät ole pinnasta tunnistettavissa RBS:llä.

Millaisia näytteitä RBS:llä voi analysoida?

Kiinteät pinnat, kuten ohutkalvot,puolijohdemateriaalit ja pinnoitteet.

Mikä Measurlabs on?

Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.

Miten palvelu toimii?

Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.

Kuinka lähetän näytteeni?

Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.

Rutherfordin takaisinsirontaspektrometria (RBS) käyttää suurinergisiä He2+ ioneja kiinteiden pintojenalkuaineanalyysiin. RBS:llä saadaan tietoa pinnan alkuainekoostumuksesta, pinnoitteen paksuudesta sekä syvyysprofiilista. Measur tarjoaa luotettavia RBS-palveluita ja tarkoilla tuloksilla.