Orgaaniset kontaminantit piikiekoista ATD-GC-MS-menetelmällä
ATD-GC-MS (kaasukromatografia-massaspektrometria ATD-keräimellä) on hyvin herkkä analyysimenetelmä piikiekkojen pinnalta löytyvien orgaanisten vierasaineiden analysointiin. Menetelmällä voidaan havaita lukuisia orgaanisia kontaminantteja matalalla määritysrajalla.
Analyysi voidaan suorittaa SEMI MF 1982-1103 -standardin mukaisesti.
- Soveltuvat näytematriisit
- Piikiekot
- Näytteiden minimimäärä
- 100 mm - 300 mm kokonaiset kiekot
- Tyypillinen läpimenoaika
- 2 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta
- Määritysraja
- < 1 pg/cm2 (300 mm kiekosta)
- Saatavilla olevat laatujärjestelmät
- Akkreditoitu testauslaboratorio
- Mittauslaitteet
- Standardi
- Menetelmän asiantuntija
Puolijohteet
PintatestausHeräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita myyjillemme.