VPD-ICP-MS

Metallikontaminaatioiden määritys piikiekkojen tai ohutkalvonäytteiden pinnoilta VPD-ICP-MS tekniikalla. Analyysille on kaksi erilaista menetelmää, joiden väliltä valitaan sopivin näytteen koostumuksen perusteella: VPD-ICP-MS piikiekoille ja VPD-ICP-MS ohutkalvonäytteille. “Perinteistä” VPD-ICP-MS-menetelmää voidaan käyttää piikiekoille. Analyysissä käytetään fluorivetyhappohöyryä (HF), joka kondensoituu näytteen pinnalle ja reagoi pinnalla olevan natiivioksidikerroksen kanssa. Pinnan epäpuhtaudet päätyvät kondensaattiin ja muodostavat näin liuenneita yhdisteitä. Lopuksi näytteen pinta “skannataan” 200 µl happopisaralla, josta analysoidaan metalliset epäpuhtaudet. Piikiekkojen lisäksi myös ohutkalvonäytteitä voidaan analysoida VPD-ICP-MS:n kaltaisella menetelmällä. Tämä menetelmä on hyvin samankaltainen kuin “perinteinen” menetelmä, mutta fluorivetyhapon (HF) sijasta liuottimena käytetään typpihappoa (HNO3). "Perinteisestä" menetelmästä poiketen muunnosta ei ole automatisoitu, joten analyysi vaatii enemmän manuaalista työtä, mikä näkyy analyysin hinnassa. Standardipaketti pitää sisällään seuraavien alkuaineiden määrityksen: Li, B, Na, Mg, Al, P, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ge, As, Y, Mo, Sn, Ba, Ce, Hf, Ta, W, ja Pb. Jalometallipaketti pitää sisällään seuraavien alkuaineiden määrityksen: Ru, Pd, Ag, Pt, ja Au. Lisäksi on mahdollista analysoida muita alkuaineta, kuten Be, V, Ga, Se, Sb. Analyysi voidaan tehdä 100, 150, 200 ja 300 mm kokoisille piikiekoille tai ohutkalvonäytteille. Myös muun kokoisia näytteitä on mahdollista analysoida – ota yhteyttä pyytääksesi tarjousta.

Soveltuvat näytematriisit

Ohutkalvonäytteet, ALD-kalvot, piikiekot

Tyypillinen läpimenoaika

3 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta

Laatujärjestelmä

Akkreditoitu testauslaboratorio

Mittauslaitteet

VPD-ICP-MS

Menetelmän asiantuntija

Charlotte Zborowski

charlotte.zborowski@measurlabs.com+358 50 349 9831

PuolijohteetPintatestaus