VPD ICP-MS

Metallisten epäpuhtauksien määritys piikiekkojen tai ohutkalvonäytteiden pinnoilta VPD-ICP-MS-tekniikalla.

Analyysille on kaksi erilaista menetelmää, joiden väliltä valitaan sopivin näytteen koostumuksen perusteella: VPD ICP-MS piikiekoille ja VPD ICP-MS ohutkalvonäytteille.

Piikiekkojen VPD-ICP-MS-analyysissä käytetään fluorivetyhappohöyryä (HF), joka kondensoituu näytteen pinnalle ja reagoi pinnalla olevan natiivioksidikerroksen kanssa. Pinnan epäpuhtaudet päätyvät kondensaattiin ja muodostavat näin liuenneita yhdisteitä. Lopuksi näytteen pinta “skannataan” 200 µl happopisaralla, josta analysoidaan metalliset epäpuhtaudet.

Ohutkalvojen analysointiin käytetään fluorivetyhapon (HF) sijasta typpihappoa (HNO3). Ohutkalvojen VPD-ICP-MS-mittausta ei ole automatisoitu, joten analyysi vaatii enemmän manuaalista työtä ja on siksi kalliimpi.

Standardipaketti pitää sisällään seuraavien alkuaineiden määrityksen: Li, B, Na, Mg, Al, P, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ge, As, Y, Mo, Sn, Ba, Ce, Hf, Ta, W, ja Pb.

Jalometallipaketti pitää sisällään seuraavien alkuaineiden määrityksen: Ru, Pd, Ag, Pt, ja Au.

Lisäksi on mahdollista analysoida muita alkuaineta, kuten Be, V, Ga, Se, Sb. Menetelmällä ei kuitenkaan voida tunnistaa monia kevyitä alkuaineita (esim. H, C, N, O ja F)

Analyysi voidaan tehdä 100, 150, 200 ja 300 mm kokoisille piikiekoille tai ohutkalvonäytteille. Myös muun kokoisia näytteitä on mahdollista analysoida – ota yhteyttä pyytääksesi tarjousta.

Soveltuvat näytematriisit
Ohutkalvonäytteet, ALD-kalvot, piikiekot
Näytteiden minimimäärä
Kokonainen piikiekko tai ohutkalvo
Tyypillinen läpimenoaika
3 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta
Määritysraja
Ppm - ppb
Laatujärjestelmä
Akkreditoitu testauslaboratorio
Mittauslaitteet
Menetelmän asiantuntija
Charlotte Zborowski

Tilaa verkossa

Ensimmäinen näyte (ALV 0):
743 €
Seuraavat näytteet (ALV 0):
535 €per näyte
Jos sinulla on paljon näytteitä, voit saada alennusta. Ota yhteyttä.

Näytteet syötetään seuraavassa vaiheessa.

Asiantuntijamme tarkastavat kaikki tilaukset ja varmistavat, että testi vastaa tarpeisiisi ja sopii näytteillesi.

Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.

Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.

Ringing phone

Tilauksesta tuloksiin neljässä vaiheessa

Tietokonetta käyttävä henkilö
1
Valitse tarvittavat testit
tilausvahvistus
2
Vastaanota tilausvahvistus
Näytelähetys
3
Lähetä näytteesi meille
Henkilö saa sähköpostin puhelimeensa
4
Saat tulokset sähköpostiisi