VPD ICP-MS

VPD ICP-MS-menetelmällä voidaan havaita häviävän pienet metalliset epäpuhtaudet piikiekkojen ja ohutkalvojen pinnoilta.

Analyysi perustuu näytteen pintakerroksen (~2 nm) liuottamiseen, jonka jälkeen metallien pitoisuudet mitataan liuoksesta.

Perusanalyysi sisältää seuraavien alkuaineiden määrityksen: Li, B, Na, Mg, Al, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ge, As, Mo, Sn, Ba, W ja Pb.

Jalometallien analyysi sisältää seuraavien alkuaineiden määrityksen: Pd, Ag, Pt ja Au.

ICP-MS-tekniikalla ei voida havaita monia kevyitä alkuaineita (mm. H, C, N, F ja O).

Mittaus on suunniteltu 100, 150, 200 ja 300 mm paksuisten kiekkojen analysointiin. Kysy lisätietoja, jos tarvitset mittausta muun kokoisille kiekoille tai eri alkuaineille.

Määritysraja: ppm - ppb (10⁷-10⁹at/cm²)