VPD-ICP-MS-analyysi
Höyryfaasihajoaminen - induktiivisesti kytketty plasma - massaspektrometria eli VPD-ICP-MS on yhdistetty näytteenkäsittely- ja analyysitekniikka, jota käytetään puolijohdeteollisuudessa metallisten epäpuhtauksien pitoisuuden määrittämiseen piikiekkojen ja ohutkalvojen pinnalta. Tekniikka mahdollistaa epäpuhtauksien erottamisen ja kvantifioinnin erittäin pieninä määrinä.
Yksinkertainen ja läpinäkyvä hinnoittelu
Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa (24 %).
- Nopeat tulokset
- Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
- Kilpailukykyiset hinnat
- Takuu tulosten oikeellisuudesta
Mikä VPD-ICP-MS analyysi on ja miten se toimii?
Höyryfaasihajoaminen (VPD) on näytteenvalmistusmenetelmä, joka liuottaa ja kondensoi sileän pinnan kaikki metalliset epäpuhtaudet liuospisaraan. Tämä mahdollistaa epäpuhtauksien uuttamisen, jolloin ne on helpompi havaita ja tunnistaa vaikka niitä olisi vain erittäin pieniä määriä. VPD-prosessi alkaa piikiekon tai muun analysoitavan materiaalin pinnan altistamisella fluorivetyhappohöyrylle. Tämä poistaa piioksidikerroksen kiekon pinnalta ja liuottaa kaikki metalliset epäpuhtaudet. Tämän jälkeen kiekon pinta skannataan skannausliuospisaralla joka kerää epäpuhtaudet yhteen pisaraan. Analyysin seuraava vaihe suoritetaan käyttämällä induktiivisesti kytkettyä plasmamassaspektrometriä (ICP-MS). ICP-MS on tehokas analyyttinen tekniikka joka kerää tietoa näytteen kemiallisista aineosista. Materiaalin VPD-esivalmistelusta kerätty nestenäyte sumutetaan massaspektrometriin. Plasma hajottaa ja ionisoi näytteen, jonka jälkeen se viedään tyhjiökammioon jossa syntyneet ionit detektoidaan ja kvantitoidaan massaspektrometrin avulla.
Mihin VPD-ICP-MS-menetelmää käytetään?
VPD-ICP-MS:ää käytetään piikiekkojen ja ohutkalvojen pintojen analysointiin ja pienten metallikontaminaatioiden löytämiseen. Puolijohteiden metallikontaminaatio voi vaikuttaa suuresti niiden käytettävyyteen, joten VPD-ICP-MS on olennainen tekniikka kiekkojen laadunvalvonnassa.
Mitä eroa on VPD-ICP-MS ja ICP-MS-menetelmillä?
ICP-MS on universaali tekniikka, jota voidaan käyttää monenlaisten aiheiden analysointiin. Se on erityisen hyödyllinen alkuainejäämien havaitsemisessa ja tunnistamisessa, ja sitä käytetään laajasti erilaisten biologisten aineiden analyyseissä sekä kemian- ja materiaaliteollisuudessa. VPD-ICP-MS puolestaan on yhdistetty uutto-analyysimenetelmä. VPD viittaa tarkemmin prosessiin, jolla analysoitava pinta esikäsitellään hajottamalla ja uuttamalla mahdolliset epäpuhtaudet analysoitaviksi. Tästä saatu näyte voidaan sitten analysoida ICP-MS-tekniikalla.
Soveltuvat näytteet ja näytteiden esivalmistelu
Höyryfaasihajoamista eli VPD:tä varten piikiekon oksidikerros poistetaan fluorivetyhapolla jonka jälkeen epäpuhtaudet kerätään talteen skannausliuospisaralla. Kiekon pinnan tulee siis liueta helposti fluorivetyhappohöyryyn. Useimmissa tapauksissa kiekon pinta koostuu uhrautuvasta oksidikerroksesta, joten tämä ei ole ongelma. ICP-MS-tekniikalla pystytään mittaamaan useimmat metallit ja jotkut metalloidit ja epämetallit.
Tarvitsetko VPD-ICP-MS analyysin?
Measurlabs tarjoaa laadukkaita VPD-ICP-MS-analyysejä kilpailukykyiseen hintaan. Asiantuntijamme ovat myös aina valmiita auttamaan jos sinulla on kysymyksiä näytteisiisi tai niiden soveltuvuuteen liittyen. Ota meihin yhteyttä alla olevan lomakkeen kautta tai sähköpostitse info@measurlabs.com.
Soveltuvat näytematriisit
- Piikiekot
- Ohutkalvot
- Puolijohteet
- Kiinteät näytteet
- Materiaalit joissa on erittäin pieniä määriä metalleja
VPD-ICP-MS-menetelmän tyypilliset käyttökohteet
- Metallisten epäpuhtauksien mittaaminen piikiekoista
- Puolijohteiden laadunvarmistus
- Erittäin pienten metallijäänteiden mittaaminen materiaaleista
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita +358 50 336 6128.
Usein kysytyt kysymykset
VPD-ICP-MS:ää käytetään piikiekkojen ja ohutkalvojen pintojen analysointiin ja pienten metallikontaminaatioiden löytämiseen. Puolijohteiden metallikontaminaatio voi vaikuttaa suuresti niiden käytettävyyteen, joten VPD-ICP-MS on olennainen tekniikka kiekkojen laadunvalvonnassa.
VPD-ICP-MS-analyyseihin soveltuvat piikiekot, ohutkalvot ja puolijohteet joiden pinta on liuotettavissa fluorivetyhapolla. Menetelmään soveltuvat vain kiinteät näytteet.
Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.
Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.
Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.