Ohutkalvonäytteiden GI-XRD
Ohutkalvoröntgendiffraktio (engl. Grazing incidence X-ray diffraction, GIXRD) on röntgendiffraktion (XRD) muunnelma, ohutkalvojen ja ohuiden pintakerrosten paramentrien määrittämiseen.
Mittauksen tuloksena saadaan seuraavat tiedot:
XRD-spektri ja faasi(en) tunnistus
Kiteisyys, kidekoko, hilaparametrit ja jännitys faasille. HUOM. Nämä parametrit voidaan määrittää vain, jos näyte on erittäin kiteinen. Jos kiteisyys on riittämätön, parametrien määritys ei aina ole mahdollista.
Tarkimmat GI-XRD-tulokset saavutetaan tyypillisesti näytteille, joiden pintakerroksen paksuus on enintään 300 nm ja RMS-karheus alle 10 nm. Paksumpia kalvoja ja karheampia pintoja voidaan myös analysoida, mutta datan laatu on yleensä heikompi karheilla näytteillä, ja näytteen ominaisuudet yli 300 nm syvyydessä eivät yleensä heijastu mittaustuloksiin.
Käytämme GI-XRD-mittauksiin seuraavia laitteistoja:
Rigaku SmartLab
Panalytical X'Pert Pro MPD
Bruker D8 Discover
Malvern Empyrean
Mittaukset suoritetaan lähtökohtaisesti huoneenlämmössä ja normaalin ilmakehän alla, mutta lämpötiloja välillä 25–1100 °C voidaan käyttää ja kiteisyyttä tutkia lämpötilan funktiona. Mittauksia voidaan tehdä myös inertin kaasun alla tai vakuumissa tarpeen mukaan. Saat lisätietoja olosuhdevaihtoehdoista asiantuntijoiltamme.
Lisätietoja menetelmästä:
GI-XRD-analyysi (GI-XRD)- Soveltuvat näytematriisit
- Ohutkalvot (metallioksidit, nitridit, metallit jne.) tyypillisillä substraateilla, kuten pii (Si), galliumnitridi (GaN), piikarbidi (SiC), galliumarsenidi (GaAs) ja indiumfosfidi (InP).
- Näytteiden minimimäärä
- Optimaalinen näytteen koko: 5 x 4 cm, pienin näytteen koko: 2 x 2 cm
- Tyypillinen läpimenoaika
- 2 viikkoa näytteiden vastaanottamisesta
- Saatavilla olevat laatujärjestelmät
- Measurlabsin validoima menetelmä
- Mittauslaitteet
- Menetelmän asiantuntija
Hinta
Hintaan lisätään myös tilauskohtainen 97 € palvelumaksu.
Suurille näyte-erille tarjoamme alennetun hinnan.
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Heräsikö kysymyksiä? Autamme mielellämme.
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita myyjillemme.