ToF-ERDA-analyysi
Lentoaika-rekyylispektrometria (ToF-ERDA) on analyysimenetelmä, jota käytetään sileiden pintojen alkuainekoostumuksen selvittämiseen. ToF-ERDA-mittauksilla saadaan selville eri alkuaineiden pitoisuudet näytteen pinnalla ja pitoisuuksien vaihtelut syvyyden funktiona. Menetelmän avulla on mahdollista havaita kaikki alkuaineet, mukaan lukien vedyn eri isotoopit.
Tutustu mittauksiin tarkemmin
Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa.
- Nopeat tulokset
- Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
- Kilpailukykyiset hinnat
- Takuu tulosten oikeellisuudesta
Mihin ToF-ERDA-menetelmää käytetään?
ToF-ERDA on analyysitekniikka, jota käytetään ohutkalvomateriaalien alkuainekoostumusten selvittämiseen ja syvyysprofilointiin. ToF-ERDA:n avulla pystytään selvittämään ohutkalvojen alkuainekoostumukset ja havaitsemaan kalvon epäpuhtaudet eri syvyyksissä. Tekniikan vahvuutena on kyky havainnoida lähes kaikkia alkuaineita, mukaan lukien vetyä ja sen eri isotooppeja kvantitatiivisesti.
Tyypillisesti ToF-ERDA:lla saavutetaan 0,1–0,5 atomiprosentin detektioraja ja 5–20 nm syvyysresoluutio. Tekniikalla voidaan karakterisoida pintakerroksia, joiden paksuus on 20–500 nm ja pinnankarheus on alle 10 nm.
ToF-ERDA:ta käytetään yleisimmin ohutkalvojen (metallioksidien, nitridien, metallien jne.) alkuainekohtaisten syvyysprofiilien määrittämiseen tyypillisillä substraateilla, kuten pii (Si), galliumnitridi (GaN), piikarbidi (SiC), galliumarsenidi (GaAs) ja indiumfosfidi (InP).
ToF-ERDA on käytännössä ainoa karakterisointimenetelmä, joka mahdollistaa tarkan ja kustannustehokkaan vedyn määrityksen samanaikaisesti ohutkalvon pääkomponenttien kvantifioinnin kanssa. Menetelmä on luontaisesti kvantitatiivinen, kun analysoidaan ohutkalvonäytteitä tyypillisillä substraateilla, joten referenssinäytteitä ei tarvita kvantitatiivisten tulosten saavuttamiseksi.
Miten menetelmä toimii?
ToF-ERDA käyttää raskasta ionisuihkua (kuten Cl, I, Au), jonka energia on jopa 100 MeV. Energinen ionisuihku suunnataan näytteeseen määrätyssä kulmassa. Suihku ionisoi näyteen atomit, minkä jälkeen syntyneet ionit kimpoavat eteenpäin. Kimmonneet ionit havaitaan lentoaikadetektorilla.
ToF-ERDA:ssa mitataan rekyyli-ionin energia ja lentoaika samanaikaisesti. Rekyyli-ionit havaitaan tyypillisesti kahdella lentoaikamittarilla ja energiamittarilla. Lentoaika mitataan kahden lentoaikamittarin välisen etäisyyden perusteella ja ionien massat erotetaan energiamittarilla. Aika/energia-spektrien konversiota käytetään syvyysprofiilien luomiseen, kun energiahäviön ja näytteen ionien yhteys tunnetaan.
Tilaa analyysit Measurlabsilta
Measurlabs tarjoaa laadukkaat ToF-ERDA-mittaukset sekä laajan valikoiman muita analyysimenetelmiä ohutkalvojen ja puolijohdemateriaalien analysointiin. Saatavilla on muun muassa GD-OES-, XPS-, RBS-, ja SIMS-mitauksia. Voit tehdä tarjouspyynnön sivun alalaidasta löytyvällä lomakkeella. Vastaamme kyselyihin aina yhden arkipäivän kuluessa.
Soveltuvat näytematriisit
- Ohutkalvot
- ALD, CVD, PVD ja muut ohutkalvot
- Optiikka
- Puolijohteet
- Ohutkalvot Si, GaN, SiC, GaAs, InP, yms. substraateilla
ToF-ERDA:n tyypillisiä käyttökohteita
- Ohutkalvojen alkuaineanalyysi ja syvyysprofilointi
- Erityisesti kevyiden alkuaineiden (H, B, C, N ja O) mittaus ohutkalvoista
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita myyjillemme.
Usein kysytyt kysymykset
Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.
Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.
Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.