Ellipsometria
Ellipsometria on näytettä vahingoittamaton optinen analyysitekniikka, jota käytetään muun muassa ohutkalvojen paksuuden määrittämiseen. Ellipsometriaa hyödynnetään yleisesti muun muassa puolijohteiden ja erilaisten pinnoitteiden analysoinnissa.
Yksinkertainen ja läpinäkyvä hinnoittelu
Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa (24 %).
- Nopeat tulokset
- Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
- Kilpailukykyiset hinnat
- Takuu tulosten oikeellisuudesta
Mihin ellipsometriaa käytetään?
Ellipsometria antaa tietoa materiaalien optisista ja sähköisistä ominaisuuksista, kuten taitekertoimesta ja dielektrisestä funktiosta. Ellipsometriaa voidaan myös käyttää ohutkalvojen paksuuden määrittämiseen jopa yhden atomikerroksen tarkkuudella, mikä tekee menetelmästä erityisen hyödyllisen puolijohteiden, polymeerien ja pinnoitteiden analyysissa. Esimerkiksi nanometreissä mitattavien ALD- ja MLD-kalvojen paksuuden mittaaminen on mahdollista.
Paksuuden lisäksi ellipsometrian avulla voidaan saada tietoa ohutkalvojen pinnan rakenteesta, topografiasta ja kiteisyydestä. Koska analyysi ei vahingoita näytettä, se on ihanteellinen herkkien näytemateriaalien analysointiin.
Miten ellipsometria toimii?
Ellipsometria havainnoi valon polarisaation muutosta sen osuttua näytteeseen. Aluksi valo johdetaan polarisaattorin läpi ja kohdennetaan ohutkalvonäytteeseen, josta se heijastuu analysaattorin läpi detektorille. Polarisaation muutoksen perusteella voidaan laskennallisesti määrittää muita kalvon ominaisuuksia, kuten paksuutta, vertaamalla mittaustuloksia näytettä jäljittelevään malliin. Ellipsometriassa voidaan käyttää joko monokromaattista valoa (single-wavelength ellipsometry) tai koko spektrin ultravioletista infrapunaan kattavaa valonlähdettä (spectroscopic ellipsometry).
Sopivat näytemateriaalit
Ideaali ellipsometrillä analysoitava näyte on 1–1 000 nm paksuinen ohutkalvo. Kalvon tulee olla ainakin osittain läpinäkyvä, jotta valo pääsee kulkemaan sen läpi. Karheuden ei myöskään tulisi olla liian suuri.
Ellipsometrian edut ja rajoitteet
Ellipsometrian etuja ovat sen todella korkea tarkkuus kalvojen paksuusmittauksissa, sopivuus laajalle valikoimalle eri materiaaleja sekä näytettä vahingoittamattomuus. Toisaalta tulosten luotettavuus riippuu mallinnuksen paikkansapitävyydestä, minkä lisäksi pienetkin epäpuhtaudet ja näytteen epätasaisuus voivat heikentää tulosten laatua.
Soveltuvat näytematriisit
- Läpinäkyvät ja puoliläpinäkyvät näytteet
- Ohutkalvot
- Puolijohteet
- Eristeet
- Polymeerit
- Orgaaniset pinnoitteet
- Metallikerrokset
Spektroskooppisen ellipsometrian tyypillisiä käyttökohteita
- Ohutkalvojen paksuuden määrittäminen
- Ohutkalvojen optisten ominaisuuksien mittaus
Ota yhteyttä
Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.
Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita +358 50 336 6128.
Usein kysytyt kysymykset
Ellipsometriaa käytetään ohutkalvojen eri ominaisuuksien, kuten paksuuden ja taitekertoimen, määrittämiseen.
Näytteen tulee heijastaa valoa ja sen tulisi olla optisesti tasainen. Liian karkeat pinnat siroavat valonsäteet pois havaitsijasta, mikä estää ellipsometrisen mittauksen.
Kalvon tulee olla läpinäkyvä tai puoliläpinäkyvä, jotta valo pääsee näytteen pinnan läpi. Näytteen sopiva paksuus on noin 1 nm – 1000 nm.
Ellipsometriä voidaan käyttää muun muassa ohutkalvojen, puolijohteiden, polymeerien, eristeiden ja jopa metallikerrosten analysointiin.
Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.
Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.
Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.