Spektroskooppinen ellipsometria

Spektroskooppinen ellipsometria (SE) on näytettä vahingoittamaton optinen tekniikka, jota käytetään muun muassa ohutkalvojen ja perusmateriaalien paksuuden määrittämiseen. SE-analyysi hyödyntää heijastuneen polarisoidun valon muutosta paksuuden mittaamiseen.

Yksinkertainen ja läpinäkyvä hinnoittelu

Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa (24 %).

  • Nopeat tulokset
  • Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
  • Kilpailukykyiset hinnat
  • Takuu tulosten oikeellisuudesta

Spektroskooppinen ellipsometria (SE) on optinen tekniikka, joka karakterisoi polarisoituneen valon heijastumista näytteen pinnasta. SE-menetelmää käytetään ohutkalvojen ja perusmateriaalien karakterisointiin. Kalvo voi olla yksi- tai monikerroksinen ja paksuudeltaan noin 1 nm – 1 000 nm (eli 1 μm). SE-analyysi on näytettä vahingoittamaton ja kontaktiton menetelmä. Sitä voidaan käyttää litteille, läpinäkyville ja puoliläpinäkyville kalvoille.

SE-menetelmä perustuu polarisoimattomaan valoon, joka lähetetään polarisaattorin läpi ja joka päästää läpi vain tietyn sähkökentän suuntaisen valon. Lineaarisesti polarisoitu valo kulkee näytteeseen ja heijastuu pinnasta elliptisesti polarisoituneena.

Ellipsometria mittaa kahta arvoa, amplitudisuhdetta (tan ψ) ja vaihe-eroa (Δ), jotka kuvaavat polarisaation muutosta sen jälkeen, kun valo on ollut vuorovaikutuksessa näytteen kanssa. Menetelmää voidaan käyttää materiaalin ominaisuuksien, kuten paksuuden ja taitekertoimen, analysointiin.

Soveltuvat näytematriisit

  • Läpinäkyvät ja puoliläpinäkyvät näytteet
  • Ohutkalvot
  • Puolijohteet
  • Eristeet
  • Polymeerit
  • Orgaaniset pinnoitteet
  • Metallikerrokset

Spektroskooppisen ellipsometrian tyypillisiä käyttökohteita

  • Ohutkalvojen paksuuden määrittäminen
  • Ohutkalvojen optisten ominaisuuksien mittaus

Ota yhteyttä

Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.

Vastaamme aina yhdessä arkipäivässä.

Voit myös lähettää sähköpostia info@measurlabs.com tai soittaa meille +358 50 336 6128.

Usein kysytyt kysymykset

Mihin SE-menetelmää yleensä käytetään?

Spektroskooppista ellipsometriaa käytetään ohutkalvojen ja perusmateriaalien eri ominaisuuksien, kuten paksuuden ja taitekertoimen, määrittämiseen.

Mitkä ovat SE-analyysin rajoitteet?

Näytteen tulee heijastaa valoa ja sen tulisi olla optisesti tasainen. Liian karkeat pinnat siroavat valonsäteet pois havaitsijasta, mikä estää ellipsometrisen mittauksen.

Kalvon tulee olla läpinäkyvä tai puoliläpinäkyvä, jotta valo pääsee näytteen pinnan läpi. Näytteen sopiva paksuus on noin 1 nm – 1000 nm.

Millaisia näytteitä SE-menetelmällä voi analysoida?

SE:tä voidaan käyttää muun muassa ohutkalvojen, puolijohteiden, polymeerien, eristeiden ja jopa metallikerrosten tutkimuksissa.

Mikä Measurlabs on?

Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.

Miten palvelu toimii?

Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.

Kuinka lähetän näytteeni?

Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.