Ellipsometria

Ellipsometria on näytettä vahingoittamaton optinen analyysitekniikka, jota käytetään muun muassa ohutkalvojen paksuuden määrittämiseen. Ellipsometriaa hyödynnetään yleisesti muun muassa puolijohteiden ja erilaisten pinnoitteiden analysoinnissa.

Measru spetroskoopinen ellipsometria
...ja yli 500 muuta tyytyväistä asiakasta

Yksinkertainen ja läpinäkyvä hinnoittelu

Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa (24 %).

  • Nopeat tulokset
  • Henkilökohtaista apua asiantuntijoilta
  • Kilpailukykyiset hinnat
  • Takuu tulosten oikeellisuudesta

Mihin ellipsometriaa käytetään?

Ellipsometria antaa tietoa materiaalien optisista ja sähköisistä ominaisuuksista, kuten taitekertoimesta ja dielektrisestä funktiosta. Ellipsometriaa voidaan myös käyttää ohutkalvojen paksuuden määrittämiseen jopa yhden atomikerroksen tarkkuudella, mikä tekee menetelmästä erityisen hyödyllisen puolijohteiden, polymeerien ja pinnoitteiden analyysissa. Esimerkiksi nanometreissä mitattavien ALD- ja MLD-kalvojen paksuuden mittaaminen on mahdollista.

Paksuuden lisäksi ellipsometrian avulla voidaan saada tietoa ohutkalvojen pinnan rakenteesta, topografiasta ja kiteisyydestä. Koska analyysi ei vahingoita näytettä, se on ihanteellinen herkkien näytemateriaalien analysointiin.

Miten ellipsometria toimii?

Ellipsometria havainnoi valon polarisaation muutosta sen osuttua näytteeseen. Aluksi valo johdetaan polarisaattorin läpi ja kohdennetaan ohutkalvonäytteeseen, josta se heijastuu analysaattorin läpi detektorille. Polarisaation muutoksen perusteella voidaan laskennallisesti määrittää muita kalvon ominaisuuksia, kuten paksuutta, vertaamalla mittaustuloksia näytettä jäljittelevään malliin. Ellipsometriassa voidaan käyttää joko monokromaattista valoa (single-wavelength ellipsometry) tai koko spektrin ultravioletista infrapunaan kattavaa valonlähdettä (spectroscopic ellipsometry). 

Kiinnostaako ohutkalvojen paksuuden mittaaminen? Tilaa ilmainen opas oikean menetelmän valintaan!

Sopivat näytemateriaalit

Ideaali ellipsometrillä analysoitava näyte on 1–1 000 nm paksuinen ohutkalvo. Kalvon tulee olla ainakin osittain läpinäkyvä, jotta valo pääsee kulkemaan sen läpi. Karheuden ei myöskään tulisi olla liian suuri.

Ellipsometrian edut ja rajoitteet

Ellipsometrian etuja ovat sen todella korkea tarkkuus kalvojen paksuusmittauksissa, sopivuus laajalle valikoimalle eri materiaaleja sekä näytettä vahingoittamattomuus. Toisaalta tulosten luotettavuus riippuu mallinnuksen paikkansapitävyydestä, minkä lisäksi pienetkin epäpuhtaudet ja näytteen epätasaisuus voivat heikentää tulosten laatua.

Soveltuvat näytematriisit

  • Läpinäkyvät ja puoliläpinäkyvät näytteet
  • Ohutkalvot
  • Puolijohteet
  • Eristeet
  • Polymeerit
  • Orgaaniset pinnoitteet
  • Metallikerrokset

Spektroskooppisen ellipsometrian tyypillisiä käyttökohteita

  • Ohutkalvojen paksuuden määrittäminen
  • Ohutkalvojen optisten ominaisuuksien mittaus

Ota yhteyttä

Ota yhteyttä alla olevalla lomakkeella, niin saat tarjouksen testauspalveluista yhdessä arkipäivässä.

Seuraaviin kysymyksiin vastaaminen auttaa meitä laatimaan sinulle tarjouksen nopeammin:

  • Montako näytettä sinulla on ja mitä materiaalia ne ovat?
  • Onko tämä toistuva testaustarve? Jos on, niin kuinka usein näytteitä saapuisi ja monenko näytteen erissä?

Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia tai soita +358 50 336 6128.

Usein kysytyt kysymykset

Mihin ellipsometriaa yleensä käytetään?

Ellipsometriaa käytetään ohutkalvojen eri ominaisuuksien, kuten paksuuden ja taitekertoimen, määrittämiseen.

Mitkä ovat ellipsometrian rajoitteet?

Näytteen tulee heijastaa valoa ja sen tulisi olla optisesti tasainen. Liian karkeat pinnat siroavat valonsäteet pois havaitsijasta, mikä estää ellipsometrisen mittauksen.

Kalvon tulee olla läpinäkyvä tai puoliläpinäkyvä, jotta valo pääsee näytteen pinnan läpi. Näytteen sopiva paksuus on noin 1 nm – 1000 nm.

Millaisia näytteitä ellipsometrillä voi analysoida?

Ellipsometriä voidaan käyttää muun muassa ohutkalvojen, puolijohteiden, polymeerien, eristeiden ja jopa metallikerrosten analysointiin.

Mikä Measurlabs on?

Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.

Miten palvelu toimii?

Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.

Kuinka lähetän näytteeni?

Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.