REM-EDX-Analyse
Rasterelektronenmikroskopie (REM) mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDS oder EDX) erzeugt ein scharfes Bild der mikroskopischen Oberflächenstrukturen der Probe und liefert Informationen über deren Elementzusammensetzung. Die REM-EDX-Analyse eignet sich für nahezu alle Probentypen und hat eine Vielzahl von Anwendungen von der wissenschaftlichen Grundlagenforschung bis zur Produktentwicklung und Qualitätskontrolle.

Eine Auswahl unserer REM-Dienstleistungen
REM-EDX-Bildgebung
REM-Bildgebung
Asbest in Materialproben (Spielzeug, Bauprodukte usw.)
Kryo-REM-EDX-Bildgebung
Preise ohne MwSt.
Wofür wird REM-EDX verwendet?
REM-EDX findet zahlreiche Anwendungen in der industriellen Fertigung und Materialwissenschaft. Es kann auch für Energie- und Ressourcenmanagement sowie für die Untersuchung von Konsumgüterverpackungen eingesetzt werden. Mit REM-EDX können große, schwere und anspruchsvolle Proben mit hervorragender Bildqualität untersucht werden, wobei kleinste Details und die chemische Zusammensetzung der Materialoberfläche sichtbar gemacht werden.
In der Produktentwicklung wird REM-EDX häufig für Fehler- und Defektanalysen sowie zur Prozesscharakterisierung eingesetzt. Partikeltyp- und Größenbestimmung sowie Materialklassifizierung können ebenfalls mithilfe von REM-EDX durchgeführt werden, um die Qualität des Produkts sicherzustellen und den Produktionsprozess zu optimieren. Auch Reverse-Engineering- und Bruchmechanismusanalysen sind möglich.
Die Elementkartierung, bei der verschiedene vom EDX-Detektor erfasste Elemente und Verbindungen im Bild mit unterschiedlichen Farben markiert werden, ist eine effektive Methode, um die Elementzusammensetzung einer Probe auf einen Blick zu erfassen. Die REM-EDX-Analyse kann auch verwendet werden, um festzustellen, ob das hergestellte Material zusätzliche Substanzen enthält, wie beispielsweise Asbestfasern. Wenn dieselben Analysen an Rohmaterialien und Prozessproben aus verschiedenen Herstellungsstufen durchgeführt werden, können auch die wahrscheinlichste Quelle und der Kontaminationspunkt identifiziert werden.
Eine tiefergehende Strukturanalyse verschiedener Materialien mit REM-EDX kann für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sehr nützlich sein. Dazu gehören die Untersuchung der Oberflächentopologie, die Detektion von Oberflächenkontaminationen sowie die Bestimmung der Ursachen chemischer Reaktionen wie Korrosion und Oxidation.
Wie funktioniert REM-EDX?
Mit der REM können die mikroskopischen Oberflächenstrukturen der Probe mit hoher Präzision beobachtet werden. Ein Rasterelektronenmikroskop hat typischerweise eine Auflösung im Nanometerbereich, die wesentlich höher ist als die eines herkömmlichen Lichtmikroskops. Daher wird mit der REM ein genaueres Bild der Oberflächentopographie der Probe erhalten. Weitere Informationen zum Funktionsprinzip der REM finden Sie auf unserer REM-Seite.
Eine große Auswahl an Anforderungen in Wissenschaft und Industrie kann mit dem REM erfüllt werden, da viele verschiedene Zubehörteile zum Mikroskop hinzugefügt werden können, um unterschiedliche Arten von Informationen über die Probe zu erhalten (z. B. EBSD, BSE). Wenn das Ziel darin besteht, die Elementzusammensetzung der Probe zu bestimmen, wird ein zusätzlicher EDX-Detektor an das REM-Gerät angebracht. Der EDX-Detektor identifiziert die Elemente in der Probe zusammen mit ihren Konzentrationen und ihrer Verteilung.
Das Funktionsprinzip der EDX
Der EDX-Detektor erfasst die Röntgenstrahlen, die vom Material erzeugt werden, wenn Elektronen während der REM-Bildgebung mit dessen Oberfläche interagieren. EDX analysiert die Röntgenstrahlen und kann daher alle anderen Elemente in der Probe mit Ausnahme von Wasserstoff, Helium und Lithium identifizieren. Die Elemente können voneinander unterschieden werden, da jedes Element sein eigenes Röntgenspektrum besitzt, das es nach der Interaktion mit den Elektronen emittiert. Diese Informationen über verschiedene Spektren aus unterschiedlichen Bereichen der Probe können beispielsweise in einer Elementverteilungskarte der Probenoberfläche visualisiert werden, in der verschiedene Elemente und Verbindungen mit unterschiedlichen Farben gekennzeichnet wurden.

Weitere Informationen über die Wechselwirkungen in der Probe finden Sie auf unserer XRF-Seite. Bei der Röntgenfluoreszenz (XRF) wird dasselbe Phänomen zur Identifizierung von Elementen genutzt wie bei REM-EDX, jedoch mithilfe von Röntgenstrahlen anstelle von Elektronen. Eine weitere ähnliche Technik ist die Elektronen-Energieverlustspektroskopie (EELS), die meist zusammen mit TEM oder STEM durchgeführt wird.
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Passende Probenmatrizen
- Feste Proben
- Pulver
- Verschiedene Materialien, wie Metalle oder Polymere
Ideale Anwendungen von REM-EDX
- Identifizierung verschiedener Elemente sowie Bestimmung ihrer Konzentrationen und ihrer Verteilung in spezifischen Bereichen der Probenoberflaeche
- Ursachen chemischer Reaktionen durch Elementverteilung aufklären
- Defektanalyse, Prozesscharakterisierung, Analyse von Bruchmechanismen und Partikelidentifizierung
- Nachweis von Verunreinigungen, die nicht zum Zielmaterial gehören
- Untersuchung komplexer Umwelt- und biologischer Proben zur Bestimmung der Struktur und Zusammensetzung ihrer Oberflächen
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Häufig gestellte Fragen
Zu den gängigen Anwendungen der REM-EDX gehören die Fehleranalyse und die Optimierung von Produktionsprozessen, da die Kombination von REM mit dem EDX-Detektor die Erkennung sowohl struktureller Probleme als auch chemischer Verunreinigungen ermöglicht. Die Methode kann auch zur Identifizierung von Partikeln und deren Größenverteilungen, zur Untersuchung der Oberflächentopologie und zur Bestimmung der Ursachen schädlicher chemischer Reaktionen wie Korrosion und Oxidation eingesetzt werden.
Mit der REM können nur die Oberflächenstrukturen der Probe untersucht werden, wenn die Probe und ihre inneren Teile intakt und unbeschädigt bleiben sollen. Wenn die Probe für das Mikroskop zu groß ist, muss sie vor der Analyse möglicherweise geschnitten werden (beispielsweise mit dem fokussierten Ionenstrahl). Wenn die Probe verschmutzt oder feucht ist oder wenn sie keinen Strom leitet, sind häufig andere Probenvorbereitungstechniken häufig erforderlich, .
Die Analyse und mögliche Beschichtung der Probe in der REM-EDX kann auch nachfolgende Analysen einschränken. Einige Elementpeaks können sich im Röntgenspektrum der Probe überlappen, was bedeutet, dass eine gründliche Analyse der Ergebnisse erforderlich ist, um die Elemente präzise voneinander zu unterscheiden. Es muss auch berücksichtigt werden, dass Wasserstoff, Helium und Lithium mit der EDX nicht nachgewiesen werden können. Die Größe des mit REM-EDX analysierten Bereichs liegt zwischen etwa 0,1 und 3 Mikrometern.
Mit der REM-EDX können feste Proben analysiert werden. Wenn die Probe trocken ist und Strom leitet, erfordert die REM-EDX keine Vorbehandlung der Probe und beschädigt das Material nicht. Wenn die Probe diese Anforderungen nicht erfüllt, muss sie häufig vor der REM-Analyse vorbereitet werden: Vor der Bildgebung müssen Reinigung, Fixierung, Trocknung, Befestigung auf einer Plattform und Beschichtung mit Metall oder Kohlenstoff erfolgen.
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