GD-OES-Analyse

Die optische Glimmentladungsspektroskopie (GD-OES) ist eine quantitative Technik, die sich ideal für schnelle Tiefenprofilanalysen von Materialien eignet, selbst über große Tiefen (> 100 µm). Die Methode wird häufig in der Metallurgie, Materialwissenschaft und Halbleiterentwicklung eingesetzt.

GD-OES
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Wofür wird die GD-OES-Analyse verwendet?

GD-OES wird hauptsächlich für die Tiefenprofilierung von Materialien verwendet und liefert deren Elementzusammensetzung als Funktion der Tiefe. Es wird üblicherweise zur Analyse anorganischer Materialien und Beschichtungen eingesetzt, wie beispielsweise Metall-, Glas- und Keramikbeschichtungen oder Mehrschichtstapel.

Wie funktioniert GD-OES?

Bei der GD-OES-Technik dient die Probe als Kathode und wird auf einer Anode positioniert. Während der Entladung wird die Probe durch Ionen und Atome bombardiert, die aus dem Plasma stammen und zur Probenoberfläche hin beschleunigt werden, wodurch ein Sputtering erzeugt wird. Atome, Elektronen und Ionen werden aus den Materialien entfernt und sind anschließend an verschiedenen physikalischen Prozessen beteiligt, die im Gasentladungsplasma ablaufen. Diese Prozesse führen zur Emission von Photonen mit charakteristischen Wellenlängen der Elemente, die aus der Probe stammen, was die Elementaranalyse in der Tiefe ermöglicht. Die Menge der erkannten Photonen steht in direktem Zusammenhang mit der Quantität des jeweils zugehörigen Elements.

Technische Spezifikationen

Die analysierte Fläche hat einen Durchmesser von etwa 2 bis 10 mm. Die Sputterrate kann zwischen 0,1 und 100 nm/s variieren, was sehr schnelle Tiefenprofilanalysen bis zu einer Tiefe von 100–200 µm ermöglicht. Die Nachweisgrenze bei GD-OES liegt typischerweise im ppm-Bereich, und alle Elemente können gleichzeitig analysiert werden, einschließlich leichter Elemente wie H, B, C, N und O.

Vorteile und Grenzen der GD-OES

Ein Vorteil von GD-OES ist, dass es für eine Vielzahl fester Proben verwendet werden kann, sowohl leitfähige als auch isolierende. Es kann alle Elemente messen und schnelle Ergebnisse liefern. Neuere Geräte verfügen zudem über eine differentielle Interferometrie-Profilierungsfunktion, die zusammen mit der Elementaranalyse sehr präzise Dickenmessungen ermöglicht.

Der Hauptnachteil von GD-OES besteht darin, dass eine umfangreiche Kalibrierung erforderlich ist, um eine genaue Quantifizierung unter Berücksichtigung von Matrixeffekten zu erhalten.

Benötigen Sie eine Analyse?

Measurlabs bietet Elementaranalyse und Tiefenprofilierung mit GD-OES sowie mehreren anderen Techniken an, darunter XPS, ToF-ERDA und SIMS. Ob es sich nur um ein Dutzend Proben oder eine große Serie handelt, wir bieten wettbewerbsfähige Preise und liefern schnell zuverlässige Ergebnisse. Sollten Sie Unterstützung bei der Methodenauswahl benötigen, stehen Ihnen unsere Testexperten jederzeit zur Verfügung, um Testpläne zu erstellen und ihre besten Empfehlungen anzubieten. Kontaktieren Sie uns über das untenstehende Formular, um ein Angebot anzufordern, und wir melden uns spätestens am nächsten Werktag bei Ihnen.

Passende Probenmatrizen

  • Metalle
  • Mehrschichtstapel
  • Halbleiter
  • Glas und Keramik

Ideale Anwendungen der GD-OES

  • Tiefenprofilierung von Materialien
  • Bestimmung der Elementzusammensetzung in Metallen

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Häufig gestellte Fragen

Wofür wird GD-OES am häufigsten eingesetzt?

GD-OES wird üblicherweise zur Bestimmung des elementaren Tiefenprofils verschiedener leitender, halbleitender und isolierender Materialien eingesetzt. Die Methode liefert schnelle, quantitative Ergebnisse bis zu einer Tiefe von über 100 µm.

Wo kommt die GD-OES an ihre Grenzen?

Die Nachweisgrenze von GD-OES ist nicht ganz so niedrig wie die von SIMS oder ToF-SIMS. Darüber hinaus ist eine sorgfältige Kalibrierung erforderlich, um Matrixinterferenzen zu vermeiden.

What is Measurlabs?

Measurlabs offers a variety of laboratory analyses for product developers and quality managers. We perform some of the analyses in our own lab, but mostly we outsource them to carefully selected partner laboratories. This way we can send each sample to the lab that is best suited for the purpose, and offer high-quality analyses with more than a thousand different methods to our clients.

How does the service work?

When you contact us through our contact form or by email, one of our specialists will take ownership of your case and answer your query. You get an offer with all the necessary details about the analysis, and can send your samples to the indicated address. We will then take care of sending your samples to the correct laboratories and write a clear report on the results for you.

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