RBS-Messung

Die Rutherford-Rückstreuspektrometrie (RBS) kann zur quantitativen Bestimmung der Zusammensetzung fester Proben sowohl an der Oberfläche als auch zur Tiefenprofilierung eingesetzt werden.

RBS wird zur Analyse von schweren Elementen eingesetzt und kann mit ToF-ERDA kombiniert werden, wenn zusätzlich leichtere Elemente analysiert werden müssen.

Elemente mit ähnlicher Masse können schwer voneinander zu unterscheiden sein.

Geeignete Probenmatrizen
Dünnschichten, Beschichtungen, Halbleiter, Metalle, feste Materialien
Benötigt Anzahl Proben
10×10–15×15 mm
Übliche Bearbeitungszeit
2 – 4 Wochen nach Eingang der Probe
Nachweisgrenze
0,1 At.% (ppm für schwere Elemente)
Verfügbare Qualitätssysteme
Measurlabs validierte Methode
Messgeräte

Preis

Typische Preisspanne (Ohne MwSt.):
499–569 €pro Probe

Wir berechnen außerdem eine 97 € Servicegebühr pro Auftrag.

Bei großen Chargen von Proben sind Rabatte möglich.

Fragen? Wir helfen Ihnen gerne.

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