Wärmeleitfähigkeit dünner Schichten mit TDTR

Analyse der Wärmeleitfähigkeit von Dünnschichtbeschichtungen mit Schichtdicken zwischen 10 nm und 1.000 nm, abgeschieden auf einem Si-Substrat. Die folgenden Messungen und Berechnungen sind im Leistungsumfang enthalten:

  • Zeitbereichs-Thermoreflektometrie (Time Domain Thermoreflectance, TDTR) zur Bestimmung der thermischen Effusivität oder thermischen Diffusivität. Drei Messreihen werden an unterschiedlichen Positionen durchgeführt.

  • Analytische Berechnung der Wärmeleitfähigkeit des Dünnfilms. Der Kunde sollte die Dichte, spezifische Wärmekapazität und Dicke des Schichtstapels angeben, da diese Parameter für die Durchführung der Berechnung erforderlich sind. Dichte und spezifische Wärmekapazitätswerte können auch der Literatur entnommen werden.

  • Thermischer Übergangswiderstand kann ebenfalls im Rahmen der Dienstleistung bestimmt werden.

Bitte beachten Sie, dass nichtmetallische Beschichtungen für die Durchführung von TDTR-Messungen eine metallische Reflexions-/Wandlerbeschichtung (z. B. Mo, Al oder Pt mit einer Schichtdicke von ca. 100 nm) erfordern. Proben sollten nach Möglichkeit bereits mit dieser Beschichtung geliefert werden; falls dies nicht möglich ist, kann im Labor gegen Aufpreis eine Al-Beschichtung aufgebracht werden.

Es sollte zudem eine Referenzprobe (z. B. D 263®T ECO Schott-Glas) mit derselben Wandlerbeschichtung bereitgestellt werden.

Die Analyse wird mit einem Lichtheizungs-Thermoreflektanzsystem (PicoTR) mit Pikosekunden-Pulsen, einer zeitlichen Auflösung von 1 ps und einer Beobachtungsdauer von 50 ns durchgeführt. Temperatur (RT bis 500 °C), Atmosphäre (N2 oder Luft) sowie Messmodus (Frontheizung/Frontdetektion oder Rückseitenheizung/Frontdetektion) können an die Probe angepasst ausgewählt werden.

Geeignete Probenmatrizen
Dünne Schichten mit einer Dicke > 10 nm und einer Oberflächenrauheit (RMS) < 15 nm
Benötigt Anzahl Proben
10 × 10 mm (bis 20 × 20 mm) Filmstapel mit einer Dicke von bis zu 20 mm
Übliche Bearbeitungszeit
2 – 3 Wochen nach Eingang der Probe
Verfügbare Qualitätssysteme
Measurlabs validierte Methode

Preis

Typische Preisspanne (Ohne MwSt.):
771–1.436 €pro Probe

Wir berechnen außerdem eine 97 € Servicegebühr pro Auftrag.

Bei großen Chargen von Proben sind Rabatte möglich.

Fragen? Wir helfen Ihnen gerne.

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