Low Noise Factory (LNF) entwickelt und produziert rauscharme Mikrowellenverstärker, die für den Betrieb bei kryogenen Temperaturen nahe dem absoluten Nullpunkt ausgelegt sind. Das 2005 gegründete und in Göteborg, Schweden, ansässige Unternehmen bedient anspruchsvolle Bereiche wie Weltraumforschung, Quantencomputing und Radioastronomie.
Mit einem komplexen mehrstufigen Fertigungsprozess und Bauelementen, die für extreme Umgebungen konzipiert sind, legt Low Noise Factory großen Wert auf Präzision und kontinuierliche Prozessentwicklung. Measurlabs unterstützt diese Arbeit durch fortschrittliche Querschnitts- und Bildgebungsdienstleistungen, die es LNF ermöglichen, kleinste Details im Nanometerbereich über den Aufbau ihrer Bauelemente zu beobachten.
Prozessentwicklung durch hochauflösende Bildgebung gezielt unterstützen
Die Zusammenarbeit von Low Noise Factory mit Measurlabs begann Anfang 2025, als Arsalan Pourkabirian, Leiter der Abteilung für Halbleiterbauelemente, nach einem langfristigen Partner für die routinemäßige FIB-STEM-Bildgebung von Transistoren suchte.
„Konsistente, hochauflösende Aufnahmen unserer Transistorquerschnitte ermöglichen es uns, Prozessvariationen bis in den nahezu atomaren Bereich zu erkennen und fundierte Anpassungen am Prozess vorzunehmen", erklärt Pourkabirian.
Neben der Bildqualität war die räumliche Nähe des Dienstleisters ein entscheidender Faktor für die Entscheidung von LNF, eine Partnerschaft mit Measurlabs einzugehen.
„Für viele unserer Kunden ist es wichtig, dass sie ihre Proben nicht um die ganze Welt schicken müssen“, erklärt Kalle Niiranen, Technical Account Manager im Team für anorganische Materialien bei Measurlabs. „Für Low Noise Factory haben wir die Messungen in Finnland organisiert, aber ebenso oft nutzen wir unser umfangreiches Partnernetzwerk, um Analysen an anderen häufig nachgefragten Standorten wie den USA oder Großbritannien durchzuführen.“
Zuverlässige Bearbeitungszeiten und klare Kommunikation
Die Zuverlässigkeit von Measurlabs war ein zentraler Aspekt der Partnerschaft. Obwohl die zugesagte Standardlieferzeit für FIB-STEM zwei Wochen beträgt, hat Low Noise Factory die Ergebnisse in der Regel innerhalb von 1–1,5 Wochen erhalten. Berichte und Bilddaten sind über das Kundenportal leicht zugänglich, das auch eine bidirektionale Kommunikation unterstützt und es LNF ermöglicht, detaillierte Richtlinien zur Probenvorbereitung und -analyse hochzuladen.
Die genauen Methoden für die Querschnittspräparation und Bildgebung wurden in Abstimmung zwischen dem LNF-Team und den Experten von Measurlabs entwickelt.
„Um den besten Weg für den Umgang mit diesen Proben zu finden, waren einige Versuche nötig, aber wir haben schnell einen Arbeitsablauf etabliert, der für beide Seiten funktioniert“, sagt der Testexperte Kamal Mundoli. „Dieser kooperative Ansatz ist es, der für konsistente Ergebnisse sorgt.“
Eine solide Grundlage für die Ausweitung der Zusammenarbeit
Da nun routinemäßige Bildgebungsabläufe etabliert sind, wird die Partnerschaft voraussichtlich in Zukunft ausgebaut. Eine Möglichkeit besteht darin, die derzeit gesammelten Daten durch hochauflösende TEM-EDX-Kartierung zu ergänzen, die Elementzusammensetzungsdaten im Nanometerbereich liefert – weit über das hinaus, was mit der konventionelleren und weit verbreiteten REM-EDX-Technik erreichbar ist.
Durch die Kombination aus technischem Fachwissen, zuverlässigen Lieferzeiten und effektiver Kommunikation ermöglicht Measurlabs Low Noise Factory, die Prozessentwicklung voranzutreiben und die hohe Leistung seiner Verstärker aufrechtzuerhalten.
„Ein so zuverlässiger Partner ermöglicht es uns, uns auf die Optimierung unserer eigenen Prozesse zu konzentrieren, da wir wissen, dass die Analysen termingerecht und gemäß unseren genauen Spezifikationen durchgeführt werden", schlussfolgert Pourkabirian.